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• 빔 집속, -集束, beam convergence

  중심부와 주변부가 다르므로 주변부에서는 빔이 일치하는 점이 섀도 마스크상에 존재하지 않기 때문에 외부에서 자계를 가해 빔의 진행 방향을 조정한다. 이러한 목적으로 사용되는 영구 자석 및 전자석을 집속 마그네트라 하며, 이 마그네트의 방향 또는 자계의 세기를 조정하는 것을 집속 조정이라 한다. → ...